半導(dǎo)體、光伏、電子元器件、醫(yī)藥與實(shí)驗(yàn)室等行業(yè)對(duì)水質(zhì)要求極高，水中微量離子、有機(jī)物、顆粒與細(xì)菌都可能影響產(chǎn)品良率與實(shí)驗(yàn)結(jié)果，超純水設(shè)備因此成為這些領(lǐng)域的基礎(chǔ)配套。目前應(yīng)用廣泛的全膜法超純水工藝，以反滲透與電去離子(EDI)為核心，可連續(xù)制備高電阻率超純水。本文解析超純水設(shè)備的工藝組成與技術(shù)要點(diǎn)。

　　超純水的水質(zhì)指標(biāo)

　　超純水通常以電阻率衡量純度，電阻率越高代表水中離子含量越低。除電阻率外，TOC(總有機(jī)碳)、溶解氧、顆粒物、細(xì)菌與金屬離子含量也是電子級(jí)超純水的關(guān)鍵指標(biāo)。不同行業(yè)對(duì)水質(zhì)要求不同，需根據(jù)用途確定工藝配置。

　　核心工藝：反滲透加EDI

　　全膜法超純水工藝一般為：預(yù)處理—一級(jí)反滲透—二級(jí)反滲透—EDI—拋光混床—終端超濾。預(yù)處理單元采用多介質(zhì)過濾、活性炭與軟化，去除懸浮物、余氯與硬度;反滲透單元脫除水中絕大部分鹽分、有機(jī)物與微生物，為EDI提供低含鹽量進(jìn)水;EDI電去離子單元在直流電場作用下，使水中殘余離子定向遷移進(jìn)入濃水室，同時(shí)利用電場使水離解產(chǎn)生的氫離子與氫氧根離子對(duì)樹脂進(jìn)行原位再生，實(shí)現(xiàn)連續(xù)脫鹽而無需停機(jī)化學(xué)再生，不產(chǎn)生酸堿廢液。

　　萊特萊德超純水設(shè)備采用兩級(jí)反滲透加EDI組合工藝，搭載膜表面高分子嫁接技術(shù)的專用膜元件，耐酸堿清洗、抗污染，可加快離子遷移速度，降低產(chǎn)水TOC;其CDI新型電除鹽技術(shù)采用均粒樹脂填充與雙流道錯(cuò)流式高頻電子極板結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提升脫鹽效果;超潔凈循環(huán)管道技術(shù)采用新型表面處理材料，避免運(yùn)行中污染物析出與死水滯留，保障末端水質(zhì)穩(wěn)定。

　　末端精處理與水質(zhì)保障

　　對(duì)電阻率要求較高的場合，可在EDI后配置拋光混床，采用核子級(jí)樹脂進(jìn)一步去除微量離子，穩(wěn)定提升產(chǎn)水電阻率;終端設(shè)置超濾或微濾組件，截留樹脂碎粒與微生物。系統(tǒng)配備在線水質(zhì)檢測與PLC自動(dòng)化控制，實(shí)時(shí)監(jiān)測電阻率、TOC等指標(biāo)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可控的運(yùn)行。

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　電子半導(dǎo)體與集成電路清洗用水、光伏電池生產(chǎn)用水、醫(yī)藥純化水與注射用水、電廠鍋爐補(bǔ)給水及實(shí)驗(yàn)室分析用水等，均可根據(jù)水質(zhì)要求選擇相應(yīng)配置的超純水設(shè)備。萊特萊德可提供從方案設(shè)計(jì)、設(shè)備制造到安裝調(diào)試與運(yùn)維的一體化服務(wù)，按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)定制超純水系統(tǒng)。